Tikslumo dalių apdorojimas negali užbaigti visų paviršių apdorojimo turinio viename procese. Visą tiksliųjų dalių apdirbimo apdorojimo procesą galima suskirstyti į šiuos etapus:
(1) gręžimo etapas. Dauguma apdorojimo leidimų yra pašalinami iš kiekvieno apdirbto paviršiaus ir pateikiamos puikios nuorodos. Svarbiausia yra kuo daugiau produktyvumo.
(2) Pusiau apdailos stadija. Pašalinus defektus, kurie gali atsirasti po grubios apdirbimo, paviršius pasirengęs apdirbimui baigti, reikalingas tam tikras apdirbimo tikslumo laipsnis, užtikrinamas tinkamas apdailos priedas ir tuo pačiu metu atliekamas antrinių paviršių apdirbimas.
(3) apdailos stadija. Šiame etape, norint pašalinti ankstesnio proceso metu likusią apdailos dalį, naudojamas didelis pjovimo greitis, nedidelis tiekimo greitis ir pjovimo gylis, todėl jo paviršius pasiekia techninius modelio reikalavimus.
(4) apdailos stadija. Jis dažniausiai naudojamas paviršiaus šiurkštumui sumažinti arba sustiprinti apdirbtą paviršių. Jis dažniausiai naudojamas paviršiaus apdorojimui, turinčiam didelį paviršiaus šiurkštumą (ra≤0.32 μm).
Ultra tikslumo apdorojimo etapas. Apdorojimo tikslumas yra 0,1-0,01 μm, o paviršiaus šiurkštumo vertė ra ≤ 0,001 μm. Pagrindiniai perdirbimo metodai yra: tikslieji pjovimo, precizinio veidrodinio šlifavimo, tiksliai šlifavimo ir poliravimo ir kt